Proceedings of the Third International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS '96)
- Författare
- Paul. Mertens Marc. Meuris Marc. Heyns Belgium) International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces 1996 : Antwerp
- (Marc Heyns (editor), Marc Meuris & Paul Mertens (co-editors)., Includes bibliographical references and index.)
- Genre
- Ej skönlitteratur, Konferenser, Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Acco | 1996 | Belgien, Leuven | 349 sidor. ill. 28 cm. |